第10章 手搓光源（第2页）

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euv光刻机的光线宽度仅有o。18微米，是人的头直径的15oo，在这个尺度下，就算一粒空气中漂浮的灰尘，都像一座漂浮的山脉一般，会对光线造成严重的干扰。

所以整个光源部分都必须在真空环境中使用。

有了昨天的制造经验，光源、反射镜、光阑、聚光镜、真空室、真空泵、压力传感器……一个个部件从无到有，逐渐生成。

多亏了实验室中有一具用于搬运的外骨骼，卓尔才得以把众多的部件一一组装完成。

绝大多数材料是用于制造真空系统。

相对来说，真空系统的精度要求没有这么高，国内很多厂家是可以生产的。

当整个光源系统与真空系统造完之后，材料基本用完，材料的数量是由系统精确计算，稍微增加了一点冗余量而已。

近1o吨材料，差不多有9吨都用在制造真空系统上面，大块铸造的配件很多。

一台功率6oo瓦的极紫外光，光源设备已经摆在卓尔面前。

仅仅是造出设备并不够，还必须对光源进行相关检测，证明这个光源能够达到标准，卓尔才能用这台光源设备去获取更多的赞助。

平常的光源检测通常是采用单个紫外照度计，在光刻机照面内分区域逐点测量照面光强，从而计算出光斑均匀性。

但是耗时比较长，精度也相对较低。卓尔并不打算使用这个方法。

卓尔准备使用的是光刻机照度均匀度多点测量方法。

该方法利用紫外增强pIn光电二极管，同时快测量曝光机照面多点的光强，大大提高了曝光机照度。

卓尔轻轻抚摸着光滑的外壳，心中充满了成就感。

现在华夏国内，能够制造的极紫外光，光源设备最大功率大概在3oo瓦左右。

卓尔手头的这个光源，对现在的华夏还是有很大的帮助。

看看时间，现在时间才到晚上1o点。

光源检测可能还要消耗几个小时才能出结果，趁这个时间正好把大刘叫出来搓一顿。

卓尔锁好实验室大门，联系了大刘，就往老地方赶。

半路上正好遇到了张洁、白露和言娜，张洁看到卓尔，满心愤恨，又想扑过来，却被言娜赶紧拉住。

张洁冲动缺脑，言娜却知道，现在他们两人身上可是挂着诽谤和泄露他人信息的罪名。

现在两人不过是取保候审。

一想到将会被关在监狱里面，失去自由数年时间，两人就浑身无力。

要想脱罪，还指望着卓尔的谅解协议，现在可不能再得罪卓尔了。

白露这个卓尔原身的前女友，此时神色复杂的看着卓尔，一副欲言又止的样子。

卓尔根本就不想理她们，视若无物的从她们三人面前走过。

一见面，大刘就拉着卓尔，一脸高兴的说“你听说了吗？张洁和言娜两人可能会被学校开除。”

“哦？”

卓尔整天待在实验室中，哪有机会去听说这些小道消息。

这样就可以解释，刚才张洁看到卓尔为什么会表现得如此愤恨了。

自作孽，不可活。

就在卓尔与大刘两人在老地方大吃火锅的时候，一名高大儒雅，穿着一丝不苟的老人打开了材料实验室的大门。

老人是微电子学院的教授，白教授——一级教授，华夏科学院院士，微电子以及应用物理方面的专家。

今天白教授的实验室中正好缺了一种实验材料。为了不影响试验进度，白教授准备先到材料实验室拿一点应急。

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